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敞开式直线光栅尺
发布日期:2011-12-09 08:56:45

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敞开式直线光栅尺
敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测量的机床和系统

典型应用包括:

半导体工业的测量和生产设备
PCB电路板组装机
超精密机床
高精度机床
测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备
直接驱动

LIC
LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动的行程达27 m内的绝对位置。其尺寸和安装方式与LIDA 400相同。

LIP
LIP敞开式直线光栅尺的测量步距非常小、精度和重复精度非常高。扫描方式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位光栅。

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